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無(wú)塵凈化廠房是以具有潔凈室和潔凈區(qū)作為重要標(biāo)志的生產(chǎn)廠房。根據(jù)《潔凈廠房沒(méi)計(jì)規(guī)范》GB50073中定義：潔凈室是指空氣懸浮粒子濃度受控的房間；潔凈區(qū)是指空氣懸浮粒子濃度受控的限定空間。潔凈室和潔凈區(qū)的建造和使用應(yīng)減少空間內(nèi)誘入、產(chǎn)生及滯留粒子。室內(nèi)或區(qū)域空間內(nèi)其他有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力等按要求進(jìn)行控制。
潔凈區(qū)可以是開(kāi)放式也可以是封閉式。潔凈室的分類(lèi)方法很多，但的是按潔凈室的氣流流型和潔凈室的使用性質(zhì)來(lái)進(jìn)行分類(lèi)。
空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過(guò)濾器（HEPA） 進(jìn)入潔凈室，并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級(jí)1,000-100,000級(jí)。
優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡(jiǎn)單、系統(tǒng)建造成本低，潔凈室的擴(kuò)充比較容易，在某些特殊用途場(chǎng)所，可并用無(wú)塵工作臺(tái)，提高潔凈室等級(jí)。
缺點(diǎn)：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)再活，欲達(dá)需求之潔凈度，往往須耗時(shí)相當(dāng)長(zhǎng)一段時(shí)間。
溫度測(cè)試是確認(rèn)空氣處理設(shè)施的溫度控制能力，溫度測(cè)試應(yīng)在凈化車(chē)間進(jìn)行調(diào)試，氣流均勻性測(cè)試完成，并在凈化空調(diào)系統(tǒng)連續(xù)運(yùn)行24H以上后進(jìn)行。凈化車(chē)間的溫度測(cè)試有功能溫度測(cè)試和一般溫度測(cè)試。功能溫度測(cè)試主要用于需嚴(yán)格控制溫度精度時(shí)或建設(shè)方要求在“靜態(tài)”或“動(dòng)態(tài)”進(jìn)行測(cè)試時(shí)應(yīng)用;一般溫度測(cè)試主要使用于“空態(tài)”時(shí)溫度測(cè)試。
潔凈車(chē)間功能溫度測(cè)試，應(yīng)將潔凈工作區(qū)劃分為等面積的柵格，每個(gè)分格面積不超過(guò)100平方米或與建設(shè)方協(xié)商確定，每格測(cè)點(diǎn)1個(gè)以上，每個(gè)房間測(cè)點(diǎn)至少2個(gè)。測(cè)試高度應(yīng)為工作面高度，距的吊頂、墻面和地面不小于300MM，并應(yīng)考慮熱源等的影響，測(cè)量時(shí)間應(yīng)至少1H，并至少6min測(cè)量一次，讀數(shù)穩(wěn)定后做好記錄。凈化車(chē)間一般溫度測(cè)試的測(cè)點(diǎn)，每個(gè)溫度控制區(qū)或每個(gè)房間1個(gè)測(cè)點(diǎn)，測(cè)試點(diǎn)高度宜為工作面高度，測(cè)量時(shí)間應(yīng)至少1H，并至少6min測(cè)量一次，讀數(shù)穩(wěn)定后做好記錄。
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